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什么是全自动硅片清洗机

发布日期:2024-11-10 17:17    点击次数:192

全自动硅片清洗机是一种专为半导体制造、光伏电板坐蓐和LED制造等行业计算的高精度清洗开导。它主要用于清洗硅片名义的浑浊物、杂质和残留物,确保硅片的洁净度和名义质地,从而训导居品的性能和良率。以下是全自动硅片清洗机的主要特色、构成部分和责任旨趣:

全自动硅片清洗机

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主要特色

Ø 自动化进度高:总共这个词清洗经过由PLC(可编程逻辑限度器)和触摸屏限度,达成了从装载、清洗、干燥到卸载的全自动化操作。

Ø 清洗后果好:选择多种清洗本领和门径,如超声波清洗、化学清洗、喷淋清洗等,确保硅片名义的绝对清洁。

Ø 高效性:清洗速率快,稳健大范围坐蓐,训导了坐蓐效用。

Ø 环保性:选择轮回使用的化学溶液和高纯水,减少废水排放,顺应环保条目。

Ø 安全性:自动化操作减少了东谈主工战役无益化学物资的风险,训导了操作的安全性。

主要构成部分

1、清洗槽:

Ø 用于容纳清洗液和硅片,频繁有多个槽,每个槽慎重不同的清洗门径,如预洗、主洗、漂洗等。

Ø 可能配备超声波发生器、旋转变构、抖动机构等,以增强清洗后果。

2、送风系统:

Ø 用于吹干硅片名义的水分,确保清洗后的硅片干燥。

3、纯水系统:

Ø 提供高纯度的水,用于最终的冲洗门径,确保硅片名义的皑皑度。

4、处理系统:

Ø 包括化学溶液的配制、运送和回收系统,确保清洗经过的一语气性和效用。

5、限度系统:

Ø 选择PLC和触摸屏进行精准限度,不错预设多种清洗圭臬,确保清洗经过的默契性和调换性。

Ø 不错与工场的MES(制造实施系统)谐和,达成数据的及时监控和料理。

6、机械手传输系统:

Ø 用于自动搬运硅片,确保硅片在各个清洗槽之间的退换安全、准确。

Ø 频繁选择伺服驱动,确保开动自若和定位可靠。

责任旨趣

1、装载硅片:

将待清洗的硅片放入专用的篮筐或托盘中,然后由机械手自动送入清洗槽。

2、清洗经过:

Ø 硅片纪律经过多个清洗槽,每个槽内有不同的清洗液和处理门径,如预洗、主洗、漂洗等。

Ø 清洗经过中可能使用超声波、旋转、抖动等援助技能,以训导清洗后果。

Ø 超声波清洗:愚弄超声波的空化效应,产生大皆狭窄气泡,气泡迫害时产生的冲击力不错去除硅片名义的浑浊物。

Ø 化学清洗:使用特定的化学溶液,通过化学响应去除硅片名义的有机物和无机物。

Ø 喷淋清洗:通过高压喷淋,将清洗液均匀喷洒到硅片名义,进一步去除浑浊物。

3、干燥经过:

Ø 清洗完成后,硅片被送入送风系统,通过吹风或烘干的面目去解雇义的水分。

4、卸载硅片:

Ø 干燥后的硅片由机械手自动取出,摒弃在指定位置。

应用鸿沟

Ø 半导体制造:用于晶圆的清洗,去解雇义的浑浊物和杂质,训导芯片的良率和性能。

Ø 光伏电板坐蓐:用于太阳能电板板的清洗,确保电板的效用和寿命。

Ø LED制造:用于LED芯片和基板的清洗,确保发光效用和可靠性。

Ø 微机电系统(MEMS):用于MEMS器件的清洗,确保器件的精度和默契性。

优点

Ø 效性:自动化进度高,清洗速率快,稳健大范围坐蓐。

Ø 一致性:清洗经过可控,确保每次清洗的后果一致。

Ø 环保性:选择轮回使用的化学溶液和高纯水,减少废水排放,顺应环保条目。

Ø 安全性:自动化操作减少了东谈主工战役无益化学物资的风险。